スパタリング現象

基礎と薄膜・コーティング技術への応用


【著者名　】金原粲

【シリーズ】

【出版社　】東京大学出版会


【発行年度】1985年2刷　 【冊数】1　 【頁数】231　 【判型・装丁】A5ハードカバー

【現品状態】
カバー欠。鉛筆線引き書込み有。ページ折れ有。表紙少擦れ有。見返しに印有。

【ISBN】4130610473

¥ 1,300 税込

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