サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集


【著者名　】北山豊樹

【シリーズ】

【出版社　】サイエンスフォーラム


【発行年度】1985年　 【冊数】1　 【頁数】540　 【判型・装丁】A4ハードカバー

【現品状態】
箱擦れ・傷・汚れ有、本文概ね良

¥ 12,000 税込

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定価￥63,000