次世代半導体工場センシング技術


【著者名　】藍光郎編

【シリーズ】

【出版社　】サイエンスフォーラム


【発行年度】昭和63年　 【冊数】1　 【頁数】422　 【判型・装丁】A4ハード

【現品状態】
払下本（印・ラベル・ポケット）、ヤケ有、擦れ有、薄汚れ有、一部ページ折れ有、本文は概ね良好。

￥6,000 税込

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