スパタリング現象

基礎と薄膜・コーティング技術への応用


【著者名　】金原粲

【シリーズ】

【出版社　】東京大学出版会


【発行年度】1987年　 【冊数】1　 【頁数】231　 【判型・装丁】A5ハードカバー

【現品状態】
ヤケ、擦れ、少汚れ有。カバー薄汚れ有。本文は概ね良好。

【ISBN】4130610473

￥1,500 税込

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