スパッタ薄膜　基礎と応用


【著者名　】小林春洋

【シリーズ】

【出版社　】日刊工業新聞社


【発行年度】2003年6刷　 【冊数】1　 【頁数】179　 【判型・装丁】A5 soft

【現品状態】
カバー少擦れ有、まえがき頁印消し跡有、本文概ね良

【ISBN】4526032735

￥3,000 税込

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